我系多台设备获得“清华大学第28届大型仪器设备使用效益奖”
2015年1月6日，校实验室与设备处对“第二十八届大型仪器设备使用效益奖”获奖情况进行公示。本届效益奖，共有20个院系单位推荐111台设备参评，最终104台设备获奖，其中4台设备获得“优质服务示范机组”称号，12台设备获得一等奖，31台设备获得二等奖，57台设备获得三等奖。
我系共有1台设备获得一等奖，4台设备获得二等奖，9台设备获得三等奖，具体获奖情况如下：
奖项
设备名称
设备编号
申请人
使用方向
一等奖
电子束曝光机
07000912
陈墨、张立辉
科研
二等奖
热场发射扫描电镜
01004338
史锴、顾晨、韩征和
公共服务
扫描探针显微镜
98265000
王秀凤
双频刻蚀系统
04001215
田松
透射电子显微镜
05002782
张丽娜、顾小华
三等奖
超高分辨扫描电镜
05002783
反应离子刻蚀
04001164
电子束蒸发
04001214
尹长青
网络分析仪
10009348
魏斌
精密对位曝光系统
04001157
党高原
N8975A噪声分析仪
11607560
清洗系统
04009244
薛昕
04001124
拉曼光谱仪
11009602
杨海涛
